供應(yīng)商 | 蘇州碩世微電子有限公司 店鋪 |
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關(guān)鍵詞 | 晶圓扶梯報(bào)價(jià)及圖片,蘇州晶圓扶梯,晶圓扶梯廠家,晶圓扶梯報(bào)價(jià)及圖片 |
所在地 | 江蘇蘇州園區(qū)東富路32號(hào) |
13年
近年來(lái),國(guó)內(nèi)晶圓升降機(jī)構(gòu)的發(fā)展也很迅速。一些較早投入應(yīng)用的晶圓傳輸機(jī)構(gòu)。前端支持品圓機(jī)械手爪隨滑塊在導(dǎo)軌內(nèi)上下運(yùn)動(dòng),由直流電機(jī)驅(qū)動(dòng),該機(jī)構(gòu)升降行程較小、精度低,速度慢,缺少晶圓保護(hù)裝置。另外交接晶圓過(guò)程中,吸附系統(tǒng)使晶圓中間變形,定位精度低,開(kāi)環(huán)控制易造成晶圓竄動(dòng)和損壞,同時(shí)對(duì)驅(qū)動(dòng)電機(jī)造成沖擊。
晶圓升降機(jī)構(gòu)需要完成升降運(yùn)動(dòng),采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)。直線電機(jī)是一種將電能直接轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng),而不需要通過(guò)任何中間轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的新穎電機(jī)。其代表是音圈電機(jī),音圈的繞制方向與磁場(chǎng)方向垂直,具有喇叭狀的輻射磁場(chǎng),音圈通電后在磁場(chǎng)中會(huì)產(chǎn)生力,力的大小與施加在線圈上的電流成比例。電機(jī)運(yùn)動(dòng)形式可以為直線或者圓弧,主要用在精密儀器上。
集成電路行業(yè)發(fā)展迅速,對(duì)芯片產(chǎn)品的良率要求日益增高,晶圓測(cè)試能夠在芯片未進(jìn)行切割、引線、封裝等多重后道工序加工前進(jìn)行測(cè)試,減少不良品在后續(xù)加工中的嚴(yán)重浪費(fèi),所以急需晶圓測(cè)試設(shè)備達(dá)到高速、、高穩(wěn)定性的要求。晶圓測(cè)試設(shè)備達(dá)到高速、、高穩(wěn)定性的要求關(guān)鍵在于升降機(jī)構(gòu)。目前晶圓測(cè)試裝備采用的升降機(jī)構(gòu)頂升力較小,頂升穩(wěn)定性較差,精度低,而且有些頂升機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,制造成本尚。
所屬分類:電子產(chǎn)品制造設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備
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