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一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下,控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱,更由于玻璃棒黑度不可能達到1,相當一部分輻射熱被折射了,因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講,200℃工況時儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi),玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當縮小,但不可能消除,而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異,可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。
一般的電熱(鼓風)無塵干燥箱均設有溫度均勻度參數(shù):自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%,強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設溫度均勻度參數(shù),這是為什么?真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運動使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此,從概念上我們就不能再把通常電熱(鼓風)干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設這個指標也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體,距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽時,曬到太陽的一面很暖和,曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結(jié)構(gòu)上很難做到使工作室三維空間內(nèi)的各點輻射熱的均勻一致,同時也缺乏的評估方法,這有可能是電熱真空干燥箱標準中不設溫度均勻度參數(shù)的原因。
無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進行,否則易導致內(nèi)外壓強及溫度差,造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況;2、升溫過程中,加熱指示燈長亮,達到設置溫度后,加熱自動停止,同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時,加熱再次啟動,加熱指示燈亮;3、加熱指示燈及溫度需正常顯示,若指示燈不亮需及時關閉電源并聯(lián)系儀器負責人。
檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求,檢查臺車烘箱各緊固件是否松動,開機操作前檢查臺車烘箱是否有漏電現(xiàn)象,若漏電嚴禁操作使用,并及時查出原因。 加入待烘干物料,物料的厚度不得超過3cm,合上電源總開關,電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動按鈕,風機運轉(zhuǎn),溫控器通電。初次使用應檢查風機轉(zhuǎn)向,右側(cè)風機從電機端看進去應為逆時針轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)向不符應改變電源相序。
按動“加熱”開關(加熱器通電),無塵潔凈烤箱進入正常工作,根據(jù)工藝要求設定溫度,當臺車烘箱溫度上升接近設定值時,加熱器電源時通時斷,臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應立即關閉電源開關,做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口,調(diào)節(jié)進氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進氣量,其進氣量增加,箱頂排氣口排氣量也增加,可根據(jù)實際情況合理調(diào)節(jié)進排氣量,一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門,以利無塵潔凈烤箱的溫度上升,當無塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時打開進氣門,以利于水分排出。
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