關(guān)鍵詞 |
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面向地區(qū) |
全國(guó) |
穩(wěn)定性氧化鋯
外 觀: 白色粉末
性 質(zhì): 、無(wú)味,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,熱導(dǎo)率低,耐熱沖擊性好。
用 途: 適用于制造各類機(jī)械部件、切削工具、、結(jié)構(gòu)陶瓷、電子陶瓷、生物陶瓷、耐火材料、光通訊器件、氧傳感器、固體氧燃料電池等。
金屬鋯、高純鋯、海綿鋯,碘化鋯、結(jié)晶鋯、鋯錠、鋯籃、鋯靶、鋯屑、鋯邊角、鋯棒、鋯板、鋯管、鋯鋼反應(yīng)釜罐,鋯盤管,鋯冷卻管,鋯絲、鋯箔、鋯帶、鋯舟、鋯杯、鋯螺絲、鋯包銅,鋯鐵,鋁鋯中間合金等。
3)結(jié)晶鉿,高純鉿,海綿鉿,鉿絲、鉿靶、鉿棒、鉿下角料、鉿錠、鉿屑等。4)金屬鉭,鉭板,鉭絲,鉭棒,鉭靶等。
5)金屬鈮,鈮錠,鈮板,鈮棒,鈮板,鈮粉等。
各種類型的濺射薄膜材料,鉿靶,鋯靶在半導(dǎo)體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。20世紀(jì)90年代以來(lái),濺射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展,地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如,在半導(dǎo)體集成電路制造過(guò)程中,以電阻率較低的銅導(dǎo)體薄膜代替鋁膜布線:在平面顯示器產(chǎn)業(yè)中,各種顯示技術(shù)(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步發(fā)展,有的已經(jīng)用于電腦及計(jì)算機(jī)的顯示器制造;在信息存儲(chǔ)產(chǎn)業(yè)中,磁性存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)容量不斷增加,新的磁光記錄材料不斷推陳出新這些都對(duì)所需濺射靶材的質(zhì)量提出了越來(lái)越高的要求,需求數(shù)量也逐年增加。
市場(chǎng)概況
日本。就美國(guó)而言.約有50家中小規(guī)模的靶材制造商及經(jīng)銷商,其中大的公司員工大約有幾百人。不過(guò)為了能更接近使用者,以便提供更完善的售后服務(wù),全球主要靶材制造商通常會(huì)在客戶所在地設(shè)立分公司。近段時(shí)間,的一些國(guó)家和地區(qū),如臺(tái)灣.韓國(guó)和新加坡,就建立了越來(lái)越多制造薄膜元件或產(chǎn)品的工廠,如IC、液晶顯示器及光碟制造廠。
對(duì)靶材廠商而言,這是相當(dāng)重要的新興市場(chǎng)。中國(guó)靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展也是與日俱增,不斷的擴(kuò)大自己的規(guī)模和生產(chǎn)技術(shù),國(guó)內(nèi)一線生產(chǎn)制造靶材的已經(jīng)達(dá)到國(guó)外的技術(shù)水平。2010年,日本三菱公司就在中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)建立了光碟塒靶材的生產(chǎn)基地,可以滿足臺(tái)灣50%的靶材需要。
磁控濺射靶材:鋯靶,鉿靶
磁控濺射靶材種類:
金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材,氮化物陶瓷濺射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷濺射靶材,硅化物陶瓷濺射靶材,硫化物陶瓷濺射靶材,碲化物陶瓷濺射靶材,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),化鉛靶材(PbAs),化銦靶材(InAs)。 [2]
磁控濺射原理:
在被濺射的靶極(陰極)與陽(yáng)極之間加一個(gè)正交磁場(chǎng)和電場(chǎng),在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場(chǎng),同高壓電場(chǎng)組成正交電磁場(chǎng)。在電場(chǎng)的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負(fù)高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場(chǎng)的作用與工作氣體的電離幾率,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離靶面飛向基片淀積成膜。磁控濺射一般分為二種:直流濺射和射頻濺射,其中直流濺射設(shè)備原理簡(jiǎn)單,在濺射金屬時(shí),其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛,除可濺射導(dǎo)電材料外,也可濺射非導(dǎo)電的材料,同時(shí)還可進(jìn)行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,如今,常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。
我們?cè)诙喾N農(nóng)藥設(shè)備上進(jìn)行過(guò)工業(yè)鋯的應(yīng)用研究,如在農(nóng)藥反應(yīng)罐中進(jìn)行了鋯的實(shí)際應(yīng)用與掛片試驗(yàn)。農(nóng)藥水解反應(yīng)的條件為:20%硫酸+甲萘胺;溫度220-250℃;15個(gè)大氣壓(1520kPa),一個(gè)流程時(shí)間為7h,在此條件下設(shè)備腐蝕嚴(yán)重,1mm厚普通鋼板,反應(yīng)后即腐蝕穿孔。原采用罐內(nèi)搪12- 14mm厚的鉛層為防腐層,則易污染環(huán)境,鉛的抗腐蝕也較差,一個(gè)搪鉛反應(yīng)罐,僅能使用50-60批料即穿孔漏液。鋯掛片試驗(yàn)條件為:生產(chǎn)介質(zhì)20%硫酸+甲萘胺;生產(chǎn)200-250℃;壓力14-15個(gè)大氣(1419- 1520kPa)。結(jié)果表明,隨時(shí)間增加,鋯母材與焊縫區(qū)氧含量稍有增加,但增加速度較緩,對(duì)鋯的力學(xué)性能未引起惡化。而氫含量卻在這種介質(zhì)腐蝕中逐漸下降,可減少脆性,對(duì)鋯有利,年腐蝕率僅為 0.024-0.04mm/a。
鋯管-----玻璃鋼反應(yīng)釜有如下優(yōu)點(diǎn):
1、使用壽命長(zhǎng),至少3年以上。
2、免維護(hù),省卻設(shè)備的維修費(fèi)用及停工成本費(fèi)用。
3、高工效,因鋯金屬導(dǎo)熱性能強(qiáng),其加熱及降溫速度快。5方母液、8平方換熱面積,從120℃降至40℃不超過(guò)90分鐘。蒸汽與冷卻水可隨時(shí)切換。
4、安全性能高,由于玻璃鋼的柔韌性,不會(huì)像普通釜那樣由于掉黏而被迅速腐蝕,產(chǎn)生漏液的危險(xiǎn)。
5、耐腐蝕性能更優(yōu),能耐住氣態(tài)氯及氣態(tài)氫的混合腐蝕,在雙甘膦及草甘膦的生產(chǎn)中優(yōu)勢(shì)更為明顯。
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