起初廣泛使用的厚度測量工具是卡尺、螺旋測微器、測厚表等,但隨著科技的進步、社會的發(fā)展,常用的測厚方法有射線測厚法、超聲波測厚法、光學(xué)測厚法、機械測厚法等,雖然厚度檢測方法眾多,但從綜合程度上看,在線測厚系統(tǒng)更多的還是采用激光測厚儀。
射線測厚儀也能進行在線檢測,并且檢測精度更高,但劣勢也顯而易見,它有輻射,不管將其降到多低,但長期使用終究不好,一般僅用于薄板的高精檢測。
薄膜測厚儀根據(jù)程序預(yù)先設(shè)定的計算公式,通過組合不同的標樣厚度并將其置于射線下測量,以得到一組基準數(shù)據(jù),并存于PLC中。