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在半導(dǎo)體薄片兩端通以控制電流I,并在薄片的垂直方向施加磁感應(yīng)強(qiáng)度為B的勻強(qiáng)磁場,則在垂直于電流和磁場的方向上,將產(chǎn)生電勢差為UH的霍爾電壓。霍爾效應(yīng)從本質(zhì)上講是運(yùn)動的帶電粒子在磁場中受洛侖茲力作用引起的偏轉(zhuǎn)。當(dāng)帶電粒子(電子或空穴)被約束在固體材料中,這種偏轉(zhuǎn)就導(dǎo)致在垂直電流和磁場的方向上產(chǎn)生正負(fù)電荷的聚積,從而形成附加的橫向電場。對于圖2所示的半導(dǎo)體試樣,若在X方向通以電流Is,在Z方向加磁場B,則在Y方向即試樣A,A′電極兩側(cè)就開始聚積異號電荷而產(chǎn)生相應(yīng)的附加電場。電場的指向取決定于測試樣品的電類型。顯然,該電場是阻止載流子繼續(xù)向側(cè)面偏移。即霍爾電壓VH(A、A′電極之間的電壓)與ISB乘積正比與試樣厚度d成反比。比例系數(shù) 稱為霍爾系數(shù),它是反映材料霍爾效應(yīng)強(qiáng)弱的重要參數(shù),只要測出 VH(伏)以及知道IIs(安)、B(高斯)和d(厘 米)可按下式計算RH(厘米3/庫侖)開關(guān)型霍爾傳感器由穩(wěn)壓器、霍爾元件、差分放大器,斯密特觸發(fā)器和輸出級組成,它輸出數(shù)字量。開關(guān)型霍爾傳感器還有一種特殊的形式,稱為鎖鍵型霍爾傳感器。磁平衡式電流傳感器也叫霍爾閉環(huán)電流傳感器,也稱補(bǔ)償式傳感器,即主回路被測電流Ip在聚磁環(huán)處所產(chǎn)生的磁場通過一個次級線圈,電流所產(chǎn)生的磁場進(jìn)行補(bǔ)償, 從而使霍爾器件處于檢測零磁通的工作狀態(tài)。電流電壓傳感器的佳精度是在原邊額定值條件下得到的,所以當(dāng)被測電流電流傳感器的額定值時,應(yīng)選用相應(yīng)大的傳感器;當(dāng)被測電壓電壓傳感器的額定值時,應(yīng)重新調(diào)整限流電阻。當(dāng)被測電流低于額定值1/2以下時,為了得到佳精度,可以使用多繞圈數(shù)的辦法。
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